流量控制器在高壓條件下如何使用?

對(duì)于質(zhì)量流量控制器,它的工作壓差范圍通常較小,因此在高壓條件下使用需要特別注意。為了讓質(zhì)量流量控制器能夠穩(wěn)定地工作在高壓條件下,需要選擇耐壓符合要求的MFC,并挑選工作壓差范圍大的產(chǎn)品型號(hào)。此外,還需要在MFC氣路前面加減壓閥,穩(wěn)定入口氣壓;在MFC下游加背壓閥,穩(wěn)定反應(yīng)室和MFC出口的氣壓。通過適當(dāng)調(diào)節(jié)減壓閥和背壓閥,要保證MFC的工作壓差不會(huì)超過規(guī)定的范圍。

由于金屬密封的MFC價(jià)格較高,通常要求不高的場(chǎng)合,均采用橡膠密封的MFC。只要做到以上三點(diǎn),MFC就能夠在高壓條件下穩(wěn)定工作。

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流量控制器對(duì)多數(shù)用戶而言,體積流量的表示方法很符合習(xí)慣,便于使用。但也有用戶需要知道單位時(shí)間內(nèi)流過介質(zhì)的質(zhì)量(如g/min),這個(gè)要求是很容易實(shí)現(xiàn)的。對(duì)于多數(shù)流量測(cè)控系統(tǒng)而言,很難避免系統(tǒng)的壓力波動(dòng)及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體密度是一個(gè)常數(shù),可以方便地查到,因而簡(jiǎn)單地做一個(gè)乘法(以密度乘以若干slm)即可實(shí)現(xiàn)。所以說,在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。

怎樣選擇流量顯示儀?

我們的流量顯示儀非常豐富,可供用戶選擇的余地很大。我們有單通道(配接一臺(tái)MFM/MFC)和多通道(配接多臺(tái)MFM/MFC)產(chǎn)品。流量控制器的性能特點(diǎn)可按設(shè)計(jì)或?qū)嶋H要求設(shè)定流量,能自動(dòng)消除系統(tǒng)的壓差波動(dòng),保持流量不變。多通道產(chǎn)品中又有共用顯示和分別顯示之分(前者體積較小,價(jià)格稍便宜,但顯示需切換;后者體積較大,但顯示直觀)。有臺(tái)式、儀表式、和上架機(jī)箱式。有輸入輸出只能是電壓信號(hào)的,也有電壓和電流信號(hào)都行的。多數(shù)產(chǎn)品使用交流220V電源,也有產(chǎn)品可使用交流110V電源。有MFC和MFM都能配的,也有單配MFM的。還有流量積算儀可進(jìn)行瞬時(shí)流量和累積流量的顯示。

將流量顯示儀安裝在機(jī)柜上的用戶,請(qǐng)注意安裝的開孔尺寸。