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| 品牌 | GRYLLS | 型號(hào) | 5920DD4 |
| 貨號(hào) | GRY310MC | 原理 | 質(zhì)量流量計(jì) |
| 用途 | 氣體流量計(jì) | 公稱通徑 | 10mmmm |
| 工作溫度 | 0-100℃ | 測(cè)量范圍 | 0-1000SCCMm3/h |
| 精度等級(jí) | 1%RD | 測(cè)量精度 | 1%RD |
| 安裝形式 | 軟管連接 | 重量 | 1kg |
| 規(guī)格 | 差壓 |
內(nèi)蒙古差壓式液體質(zhì)量流量計(jì)5950D4
質(zhì)量流量控制器用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。它們?cè)诎雽?dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括：電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其他分析儀器
內(nèi)蒙古差壓式液體質(zhì)量流量計(jì)5950D4
主要技術(shù)指標(biāo)
1
| 量程范圍
| ?。?~5，10,20,30,50,100,200,300,500...）SCCM ?。?~1,2,3,5,10,50,100,200,500...3000） SLM
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2
| 準(zhǔn)確度
| ±1%F.S ±0.5%F.S
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3
| 線性
| ±0.5~1.5%F.S
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4
| 重復(fù)精度
| ±0.2%F.S
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5
| 響應(yīng)時(shí)間
| 電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec
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6
| 工作壓差
| 0.1~0.5MPa
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7
| 耐壓
| 3MPa
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8
| 工作環(huán)境溫度
| 0~70℃
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9
| 數(shù)字量
| RS485 MODBUS協(xié)議
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10
| 模擬量
| DC 0~5V ，4~20mA 可選
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11
| 供電
| DC +15V/24V 可選，流量計(jì)＜400mA，控制器＜600mA
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12
| 電氣連接
| DB15
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13
| 漏率
| 1×10-8SCCSHe
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14
| 底座材質(zhì)
| 316L不銹鋼
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15
| 密封材質(zhì)
| 氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠
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16
| 氣路接頭
| Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞
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內(nèi)蒙古差壓式液體質(zhì)量流量計(jì)5950D4
氣體質(zhì)量流量控制器的精度、堅(jiān)固性及可靠性源于我公司獨(dú)特的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動(dòng)校正溫度及壓力變化產(chǎn)生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個(gè)常數(shù)值，然后測(cè)量氣體流量的冷卻效果。通過(guò)測(cè)量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質(zhì)量流量成正比的原理計(jì)算流量。兩傳感器均為標(biāo)準(zhǔn)級(jí)白金電阻溫度探測(cè)器（RTD）。白金RTD 絲纏繞在堅(jiān)固的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個(gè)傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內(nèi)。
從而安全擴(kuò)展功率或電流的輸出能力，且并聯(lián)后，依然保持單機(jī)優(yōu)異的動(dòng)態(tài)特性。用戶可任意恒電壓CV或恒電流CC工作模式，安全擴(kuò)展輸出能力，從而滿足多種大功率高速測(cè)試下的需求。以下將會(huì)以瞬態(tài)響應(yīng)拉載波形為例說(shuō)明其工作方式，請(qǐng)參照下圖：?jiǎn)螜C(jī)IT6522C（80V120A3000W）設(shè)定電壓：10V，設(shè)定電流：120A動(dòng)態(tài)負(fù)載：LevelA=10ALevelB=100Af=10Hz1803092604.png8臺(tái)IT6522C并機(jī)設(shè)定電壓：10V，設(shè)定電流：960A動(dòng)態(tài)負(fù)載：LevelA=100ALevelB=800AF=10Hz結(jié)論：從上面的測(cè)試圖中可以看到，IT6500C系列電源在多臺(tái)并機(jī)后，仍能保持和單機(jī)波形一樣的動(dòng)態(tài)響應(yīng)波形，均達(dá)到高速無(wú)延遲的同步響應(yīng)。
