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| 品牌 | 格里爾斯 | 型號 | 5911D4 |
| 貨號 | GRY310MC | 原理 | 質(zhì)量流量計 |
| 用途 | 氣體流量計 | 公稱通徑 | 6mmmm |
| 工作溫度 | 0-60℃ | 測量范圍 | 0-5SCCMm3/h |
| 精度等級 | 0.2%RD | 測量精度 | 0.2%RD |
| 安裝形式 | 軟管連接 | 重量 | 1kg |
| 規(guī)格 | 熱式 |
格里爾斯GRYLLS模擬量氣體流量控制器5950D4
質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括：電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器
格里爾斯GRYLLS模擬量氣體流量控制器5950D4
主要技術(shù)指標(biāo)
1
| 量程范圍
| ?。?~5，10,20,30,50,100,200,300,500...）SCCM （0~1,2,3,5,10,50,100,200,500...3000） SLM
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2
| 準(zhǔn)確度
| ±1%F.S ±0.5%F.S
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3
| 線性
| ±0.5~1.5%F.S
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4
| 重復(fù)精度
| ±0.2%F.S
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5
| 響應(yīng)時間
| 電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec
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6
| 工作壓差
| 0.1~0.5MPa
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7
| 耐壓
| 3MPa
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8
| 工作環(huán)境溫度
| 0~70℃
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9
| 數(shù)字量
| RS485 MODBUS協(xié)議
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10
| 模擬量
| DC 0~5V ，4~20mA 可選
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11
| 供電
| DC +15V/24V 可選，流量計＜400mA，控制器＜600mA
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12
| 電氣連接
| DB15
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13
| 漏率
| 1×10-8SCCSHe
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14
| 底座材質(zhì)
| 316L不銹鋼
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15
| 密封材質(zhì)
| 氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠
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16
| 氣路接頭
| Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞
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格里爾斯GRYLLS模擬量氣體流量控制器5950D4
氣體質(zhì)量流量控制器的精度、堅固性及可靠性源于我公司獨特的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動校正溫度及壓力變化產(chǎn)生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數(shù)值，然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質(zhì)量流量成正比的原理計算流量。兩傳感器均為標(biāo)準(zhǔn)級白金電阻溫度探測器（RTD）。白金RTD 絲纏繞在堅固的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內(nèi)。
單片機(jī)是整個測量系統(tǒng)的主要部分，擔(dān)負(fù)對前端脈沖信號的處理、計算、以及信號的同步，計時等任務(wù)，其次，將測量的數(shù)據(jù)經(jīng)計算后，將得到的轉(zhuǎn)速值傳送到顯示接口中，用數(shù)碼管顯示數(shù)值。在本系統(tǒng)中考慮到計數(shù)的范圍、使用的定時，計數(shù)器的個數(shù)及I/O口線。電機(jī)轉(zhuǎn)速測量需要經(jīng)過的4個基本步驟：1是控制方式；2是確定計數(shù)方式；3是信號輸入方式；4是計數(shù)值的讀??；單片機(jī)完成對電機(jī)轉(zhuǎn)速脈沖計數(shù)的控制，讀取寄存器完成轉(zhuǎn)速頻率的確定。
