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| 品牌 | GRYLLS格里爾斯 | 型號 | 5921DD4 |
| 貨號 | GRY310MC | 原理 | 質(zhì)量流量計 |
| 用途 | 氣體流量計 | 公稱通徑 | 10mmmm |
| 工作溫度 | 0-80℃ | 測量范圍 | 0-5SLMm3/h |
| 精度等級 | 1%RD | 測量精度 | 1%RD |
| 安裝形式 | 硬管連接 | 重量 | 1kg |
| 規(guī)格 | 差壓 |
廣西熱式質(zhì)量流量計5930DD4
質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括：電子工藝設(shè)備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器
廣西熱式質(zhì)量流量計5930DD4
主要技術(shù)指標
1
| 量程范圍
| ?。?~5，10,20,30,50,100,200,300,500...）SCCM ?。?~1,2,3,5,10,50,100,200,500...3000） SLM
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2
| 準確度
| ±1%F.S ±0.5%F.S
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3
| 線性
| ±0.5~1.5%F.S
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4
| 重復精度
| ±0.2%F.S
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5
| 響應(yīng)時間
| 電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec
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6
| 工作壓差
| 0.1~0.5MPa
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7
| 耐壓
| 3MPa
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8
| 工作環(huán)境溫度
| 0~70℃
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9
| 數(shù)字量
| RS485 MODBUS協(xié)議
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10
| 模擬量
| DC 0~5V ，4~20mA 可選
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11
| 供電
| DC +15V/24V 可選，流量計＜400mA，控制器＜600mA
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12
| 電氣連接
| DB15
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13
| 漏率
| 1×10-8SCCSHe
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14
| 底座材質(zhì)
| 316L不銹鋼
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15
| 密封材質(zhì)
| 氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠
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16
| 氣路接頭
| Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞
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廣西熱式質(zhì)量流量計5930DD4
氣體質(zhì)量流量控制器的精度、堅固性及可靠性源于我公司獨特的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動校正溫度及壓力變化產(chǎn)生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數(shù)值，然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質(zhì)量流量成正比的原理計算流量。兩傳感器均為標準級白金電阻溫度探測器（RTD）。白金RTD 絲纏繞在堅固的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內(nèi)。
為此，在實驗中可將其中一根探頭的地線取下，只使用其中一根地線。當需要同時觀察兩個信號時，必須在電路上找到這兩個被測信號的公共點，將探頭的地線接上，兩個探頭各接至信號處，即能在示波器上同時觀察到兩個信號，而不致發(fā)生意外。當然，這是指你的系統(tǒng)中有別的設(shè)備，而這些設(shè)備的地線和示波器一樣都接在了安全地。對于自制的系統(tǒng)，電源也是自制的而不是那種專用的電源儀器，則會有兩種情況：變壓器用的是隔離變壓器，就是有兩個繞組的那種，那樣的話如果你的系統(tǒng)或者是板子也沒有接安全地，則不會出現(xiàn)上述情況，可以測量兩點間信號，但是兩個探頭一起用時還是只能接一個地線的夾子。
