|
|||||||||||||||||||||||||||||||
| 品牌 | GRYLLS格里爾斯 | 型號 | 5930D4 |
| 貨號 | GRY310MC | 原理 | 質(zhì)量流量計 |
| 用途 | 氣體流量計 | 公稱通徑 | 12mmmm |
| 工作溫度 | -10-60℃ | 測量范圍 | 0-50SLMm3/h |
| 精度等級 | 0.5%FS | 測量精度 | 0.5%FS |
| 安裝形式 | 硬管連接 | 重量 | 1kg |
| 規(guī)格 | 科氏 |
天津熱式液體質(zhì)量流量計5911DD4
質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括：電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器
天津熱式液體質(zhì)量流量計5911DD4
主要技術(shù)指標(biāo)
1
| 量程范圍
| （0~5，10,20,30,50,100,200,300,500...）SCCM ?。?~1,2,3,5,10,50,100,200,500...3000） SLM
|
2
| 準(zhǔn)確度
| ±1%F.S ±0.5%F.S
|
3
| 線性
| ±0.5~1.5%F.S
|
4
| 重復(fù)精度
| ±0.2%F.S
|
5
| 響應(yīng)時間
| 電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec
|
6
| 工作壓差
| 0.1~0.5MPa
|
7
| 耐壓
| 3MPa
|
8
| 工作環(huán)境溫度
| 0~70℃
|
9
| 數(shù)字量
| RS485 MODBUS協(xié)議
|
10
| 模擬量
| DC 0~5V ，4~20mA 可選
|
11
| 供電
| DC +15V/24V 可選，流量計＜400mA，控制器＜600mA
|
12
| 電氣連接
| DB15
|
13
| 漏率
| 1×10-8SCCSHe
|
14
| 底座材質(zhì)
| 316L不銹鋼
|
15
| 密封材質(zhì)
| 氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠
|
16
| 氣路接頭
| Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞
|
天津熱式液體質(zhì)量流量計5911DD4
氣體質(zhì)量流量控制器的精度、堅固性及可靠性源于我公司獨特的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動校正溫度及壓力變化產(chǎn)生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數(shù)值，然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質(zhì)量流量成正比的原理計算流量。兩傳感器均為標(biāo)準(zhǔn)級白金電阻溫度探測器（RTD）。白金RTD 絲纏繞在堅固的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內(nèi)。
什么是紅外熱成像測溫？紅橙黃綠青藍(lán)紫，是大家所熟知的大自然的可見光。在可見光之外，有一種人類看不見的“光線”，叫做“紅外線”。只要高于零度（-273℃）的物體，都會向外輻射紅外線，因此自然界中的萬物，無時無刻地都在向外輻射這種不可見的紅外線，人類當(dāng)然也不例外。紅外線本身的物理特性就具有很強(qiáng)的熱效應(yīng)，太陽的熱量主要就是通過紅外線傳到地球的。因此物體發(fā)射的紅外線，通過紅外探測器先進(jìn)的光電轉(zhuǎn)換效應(yīng)，再通過科學(xué)的算法、的程序處理，其中所包含的熱信息就能轉(zhuǎn)化成物體表面的溫度信息，這就是紅外測溫的基本原理。
