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| 品牌 | GRYLLS格里爾斯 | 型號 | 5921D4 |
| 貨號 | GRY310MC | 原理 | 質(zhì)量流量計 |
| 用途 | 氣體流量計 | 公稱通徑 | 10mmmm |
| 工作溫度 | 0-80℃ | 測量范圍 | 0-5SLMm3/h |
| 精度等級 | 1%RD | 測量精度 | 1%RD |
| 安裝形式 | 硬管連接 | 重量 | 1kg |
| 規(guī)格 | 差壓 |
GRYLLS格里爾斯科氏氣體質(zhì)量流量控制器5951DD4
質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括：電子工藝設(shè)備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器
GRYLLS格里爾斯科氏氣體質(zhì)量流量控制器5951DD4
主要技術(shù)指標(biāo)
1
| 量程范圍
| ?。?~5，10,20,30,50,100,200,300,500...）SCCM （0~1,2,3,5,10,50,100,200,500...3000） SLM
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2
| 準(zhǔn)確度
| ±1%F.S ±0.5%F.S
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3
| 線性
| ±0.5~1.5%F.S
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4
| 重復(fù)精度
| ±0.2%F.S
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5
| 響應(yīng)時間
| 電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec
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6
| 工作壓差
| 0.1~0.5MPa
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7
| 耐壓
| 3MPa
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8
| 工作環(huán)境溫度
| 0~70℃
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9
| 數(shù)字量
| RS485 MODBUS協(xié)議
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10
| 模擬量
| DC 0~5V ，4~20mA 可選
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11
| 供電
| DC +15V/24V 可選，流量計＜400mA，控制器＜600mA
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12
| 電氣連接
| DB15
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13
| 漏率
| 1×10-8SCCSHe
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14
| 底座材質(zhì)
| 316L不銹鋼
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15
| 密封材質(zhì)
| 氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠
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16
| 氣路接頭
| Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞
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GRYLLS格里爾斯科氏氣體質(zhì)量流量控制器5951DD4
氣體質(zhì)量流量控制器的精度、堅固性及可靠性源于我公司獨特的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動校正溫度及壓力變化產(chǎn)生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數(shù)值，然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質(zhì)量流量成正比的原理計算流量。兩傳感器均為標(biāo)準(zhǔn)級白金電阻溫度探測器（RTD）。白金RTD 絲纏繞在堅固的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內(nèi)。
為測量儀器選型選擇一款合適的測量儀器，您需要了解以下因素食品測溫儀進(jìn)行非接觸的無損表面溫度測量測量中心溫度，同時也需要非接觸的無損表面溫度測量測溫對象始終是同一種總是不同–需要可更換的探頭溫度記錄儀僅需要測量、存儲相關(guān)的數(shù)據(jù)，隨后分析即可需要完整報告及數(shù)據(jù)分析無需數(shù)據(jù)分析功能，僅需打印出曲線數(shù)據(jù)報告隨時隨地監(jiān)測和訪問數(shù)據(jù)用于固定場所與環(huán)境的監(jiān)測長期記錄和存儲數(shù)據(jù)，無需頻繁讀出看性能測溫儀、記錄儀的測量范圍及精度如何？在選擇測量儀器時，需要對測量溫度和測量儀器自身的量程要清楚，可以詢問供應(yīng)商提供產(chǎn)品的具體技術(shù)說明書。
