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| 品牌 | GRYLLS | 型號 | 5920DD4 |
| 貨號 | GRY310MC | 原理 | 質量流量計 |
| 用途 | 氣體流量計 | 公稱通徑 | 10mmmm |
| 工作溫度 | 0-100℃ | 測量范圍 | 0-1000SCCMm3/h |
| 精度等級 | 1%RD | 測量精度 | 1%RD |
| 安裝形式 | 軟管連接 | 重量 | 1kg |
| 規(guī)格 | 差壓 |
甘肅科氏力液體流量控制器5920DD4
質量流量控制器用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝設備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器
甘肅科氏力液體流量控制器5920DD4
主要技術指標
1
| 量程范圍
| （0~5，10,20,30,50,100,200,300,500...）SCCM ?。?~1,2,3,5,10,50,100,200,500...3000） SLM
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2
| 準確度
| ±1%F.S ±0.5%F.S
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3
| 線性
| ±0.5~1.5%F.S
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4
| 重復精度
| ±0.2%F.S
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5
| 響應時間
| 電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec
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6
| 工作壓差
| 0.1~0.5MPa
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7
| 耐壓
| 3MPa
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8
| 工作環(huán)境溫度
| 0~70℃
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9
| 數字量
| RS485 MODBUS協議
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10
| 模擬量
| DC 0~5V ，4~20mA 可選
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11
| 供電
| DC +15V/24V 可選，流量計＜400mA，控制器＜600mA
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12
| 電氣連接
| DB15
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13
| 漏率
| 1×10-8SCCSHe
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14
| 底座材質
| 316L不銹鋼
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15
| 密封材質
| 氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠
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16
| 氣路接頭
| Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞
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甘肅科氏力液體流量控制器5920DD4
氣體質量流量控制器的精度、堅固性及可靠性源于我公司獨特的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動校正溫度及壓力變化產生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數值，然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質量流量成正比的原理計算流量。兩傳感器均為標準級白金電阻溫度探測器（RTD）。白金RTD 絲纏繞在堅固的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內。
低功耗與環(huán)境適應性：低功耗是便攜式產品研究的重點，功耗決定了產品的使用時間及可用性，同時對溫度、濕度、防水和偶然跌落等的環(huán)境適應能力也是便攜式產品競爭的主要指標之一。高精度：隨著集成芯片制造技術、數字采樣技術和微處理器速度的提高，便攜式儀表的高準確度、高分辨率測量的研究已成為主要方向。過載自動保護、故障自診、記錄與報警。專用芯片：數字萬用表的發(fā)展主要依賴于集成芯片技術的進步，便攜式產品的核心技術就是集成芯片，多功能、低功耗、高可靠、高精度、低成本、小體積、嵌入式微處理器及接口將成為專用芯片的主要發(fā)展方向。
