|
|||||||||||||||||||||||||||||||
| 品牌 | 格里爾斯GRYLLS | 型號(hào) | 8101D4 |
| 貨號(hào) | GRY310MC | 原理 | 質(zhì)量流量計(jì) |
| 用途 | 氣體流量計(jì) | 公稱通徑 | 16mmmm |
| 工作溫度 | -198-400℃ | 測(cè)量范圍 | 0-6000SLMm3/h |
| 精度等級(jí) | 1%FS | 測(cè)量精度 | 1%FS |
| 安裝形式 | 硬管連接 | 重量 | 1kg |
| 規(guī)格 | 科氏 |
安徽數(shù)字量氣體流量控制器8110DD4
質(zhì)量流量控制器用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。它們?cè)诎雽?dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括：電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其他分析儀器
安徽數(shù)字量氣體流量控制器8110DD4
主要技術(shù)指標(biāo)
1
| 量程范圍
| ?。?~5，10,20,30,50,100,200,300,500...）SCCM （0~1,2,3,5,10,50,100,200,500...3000） SLM
|
2
| 準(zhǔn)確度
| ±1%F.S ±0.5%F.S
|
3
| 線性
| ±0.5~1.5%F.S
|
4
| 重復(fù)精度
| ±0.2%F.S
|
5
| 響應(yīng)時(shí)間
| 電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec
|
6
| 工作壓差
| 0.1~0.5MPa
|
7
| 耐壓
| 3MPa
|
8
| 工作環(huán)境溫度
| 0~70℃
|
9
| 數(shù)字量
| RS485 MODBUS協(xié)議
|
10
| 模擬量
| DC 0~5V ，4~20mA 可選
|
11
| 供電
| DC +15V/24V 可選，流量計(jì)＜400mA，控制器＜600mA
|
12
| 電氣連接
| DB15
|
13
| 漏率
| 1×10-8SCCSHe
|
14
| 底座材質(zhì)
| 316L不銹鋼
|
15
| 密封材質(zhì)
| 氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠
|
16
| 氣路接頭
| Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞
|
安徽數(shù)字量氣體流量控制器8110DD4
氣體質(zhì)量流量控制器的精度、堅(jiān)固性及可靠性源于我公司獨(dú)特的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動(dòng)校正溫度及壓力變化產(chǎn)生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個(gè)常數(shù)值，然后測(cè)量氣體流量的冷卻效果。通過測(cè)量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質(zhì)量流量成正比的原理計(jì)算流量。兩傳感器均為標(biāo)準(zhǔn)級(jí)白金電阻溫度探測(cè)器（RTD）。白金RTD 絲纏繞在堅(jiān)固的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個(gè)傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內(nèi)。
反射系數(shù)法是通過測(cè)量漏蘭姆波的頻散曲線來(lái)確定材料的性質(zhì),但測(cè)量難度較大。傅里葉變換只能處理線性非平穩(wěn)的信號(hào)。小波變換法雖然在理論上能處理非線性非平穩(wěn)信號(hào),但是同傅里葉變換、短時(shí)傅里葉變換法一樣,都受Heisenberg測(cè)不準(zhǔn)原理制約,即時(shí)間窗口與頻率窗口的乘積為一個(gè)常數(shù),這就意味著如果要提高時(shí)間精度就得犧牲頻率精度,反之亦然。當(dāng)蘭姆波中不同模態(tài)的頻率比較接近時(shí),不適用小波變換處理信號(hào)。動(dòng)態(tài)光彈法能從Lamb波的應(yīng)力分布觀察到傳播和頻散,但是在實(shí)際檢測(cè)中對(duì)硬件要求較高。
