品牌：愛德華

型號：EH1200

工作原理：羅茨真空泵

極限真空度類型：高真空0.00001~0.1Pa

極限真空度：-0.2Pa

抽氣速率：1200L/s

EDWARDS 愛德華 EH500 EH系列真空泵EH500

概述：

EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎(chǔ)，仍是最受歡迎的泵，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應(yīng)用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。

機械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下，因此高度可靠。

應(yīng)用

半導(dǎo)體制程

真空蒸餾

真空包裝

鋼脫氣

薄膜覆層

真空冶金

低密度風(fēng)洞

空間模擬

真空浸漬

油干燥和脫氣

制藥冷凍干燥

CO2 激光

功能和優(yōu)勢

適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的應(yīng)用場合。

它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。

EH 泵具有高質(zhì)量的無油泵送機械裝置。這可提供：

安靜的無振動運行。

牢靠且防腐蝕。

先進(jìn)的軸封技術(shù)，處理艙中不會出現(xiàn)油污染

防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。

經(jīng)驗證的軸封布置可確保沒有油進(jìn)入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護(hù)要求降到最低。

軸封的設(shè)計經(jīng)過優(yōu)化，可確保潤滑劑無法進(jìn)入泵送機械裝置中。這可在需要最高標(biāo)準(zhǔn)清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴(yán)格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。

動態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運行噪音小，而這些特點正是先進(jìn)技術(shù)設(shè)備的制造商所需要的。

容積（工作容積）

50Hz505 m3h-1/300 ft3min-1

60Hz605 m3h-1/335 ft3min-1

使用后備泵時的有效抽取速度

E1M40 或 E2M40350 m3h-1/206 ft3min-1

E1M80 或 E2M80400 m3h-1/236 ft3min-1

E1M175 或 E2M175440 m3h-1/259 ft3min-1

E1M275 或 E2M275460 m3h-1/271 ft3min-1

泵的壓差 ?

50Hz0-110 mbar/0-83 Torr

60Hz0-90 mbar/0-68 Torr

入口連接ISO100

出口連接ISO63

轉(zhuǎn)速

50Hz0-2900 rpm

60Hz0-3500 rpm

連續(xù)入口操作壓力0-1000 mbar/0-760 Torr

最大出口壓力1000 mbar/760 Torr

推薦的后備泵GV80，E2M80

電源供給

50Hz220-240V/380-415V

60Hz230V/460V

馬達(dá)功率

碳?xì)浠衔?.2kW/3hp

PFPE2.2kW/3hp

ATEX2.2kW

防爆型3hp

環(huán)境溫度范圍

操作5 至 40°C/40 至 104°F

存儲-10 至 80°C/14 至 176°F

最大操作濕度90% RH

推薦用油

標(biāo)準(zhǔn)型Ultragrade 20

PFPE 版本Fomblin? YVAC 16/6

油容量

聯(lián)結(jié)器箱1.5 升

軸桿封口儲油器0.125 升

重量*106 kg/233 lb